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微纳加工技术
课程类型：
选修课
发布时间：
2025-02-21 00:03:20
主讲教师：
课程来源：
建议学分：
0.00分
课程编码：
xtzx1956
课程介绍
课程目录
教师团队
第一章节 课程介绍
第二章节 微纳工艺综述和超净环境
第三章节 集成电路中的材料和单晶硅的制备
第四章节 薄膜制备技术
第五章节 图形化工艺
第六章节 图形转移技术
第七章节 掺杂
第八章节 CMOS集成电路工艺模块
第九章节 良率与封装技术
第十章节 工艺集成
第十一章节 微机电系统
